咨詢(xún)熱線
13810961731
13810961731
追求合作共贏
Win win for you and me售前售中售后完整的服務(wù)體系
誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)質(zhì)量保障價(jià)格合理服務(wù)完善
當(dāng)前位置：首頁(yè) > 產(chǎn)品展示 > 多腔系統(tǒng) >
產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category
刻蝕系統(tǒng)三到六個(gè)端口傳送腔室可用于集成ICP等離子刻蝕機(jī)、RIE刻蝕機(jī)、原子層沉積系統(tǒng)、PECVD和ICPECVD沉積設(shè)備，以滿足研發(fā)的要求。樣品可以通過(guò)預(yù)真空室和/或真空片盒站加載。
集成等離子刻蝕和沉積的多腔系統(tǒng) 三到六個(gè)端口傳送腔室可用于集成ICP等離子刻蝕機(jī)、RIE刻蝕機(jī)、原子層沉積系統(tǒng)、PECVD和ICPECVD沉積設(shè)備，以滿足研發(fā)的要求。樣品可以通過(guò)預(yù)真空室和/或真空片盒站加載。
